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电子半导体
晶圆、光刻、封装测试属于超高精密无尘制程。Class 0 无油压缩空气杜绝油雾污染,保护芯片与精密线路;搭配精密干燥与过滤后处理,确保露点与颗粒物指标达标,气源波动小,适配半导体无尘车间严苛要求。
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