معالجة الرقائق، الطباعة الضوئية، التغليف والفحص هي عمليات فائقة الدقة في الغرف النظيفة. يمنع الهواء المضغوط الخالي من الزيت من الفئة 0 التلوين بضباب الزيت ويحمي الرقائق والدوائر الدقيقة. مع المعالجة اللاحقة بالتجفيف والترشيح الدقيق، يحقق متطلبات نقطة الندى والجسيمات مع تقلبات هواء بسيطة ليلائم شروط الغرف النظيفة لأشباه الموصلات.